[发明专利]一种电介质薄膜中电荷分布的双面原位测量系统及方法在审
| 申请号： | 201910458938.0 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN110244138A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 郑飞虎;谢姣;张冶文 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01R29/14 | 分类号： | G01R29/14;G01R29/24 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 宣慧兰 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电介质薄膜中电荷分布的双面原位测量系统及方法，该系统包括待测样品、脉冲激光器、光电触发电路、双面测量光路、加压电路、测量电路；脉冲激光器产生的激光被分为两路，分别进入光电触发电路和双面测量光路中；双面测量光路将激光分两路依次分别入射到正面镀层电极和反面镀层电极；加压电路包括直流高压源，并通过限流电阻施加至电介质薄膜的反面镀层电极上，反面镀层电极还通过耦合电容连接单刀双掷开关的动端，两个不动端分别连接地和保护电路，保护电路与测量电路连接，正面镀层电极接地。与现有技术相比，本发明大大减小了热脉冲法在沿光入射方向上分辨率下降的问题，从整体上提高测量的空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀层电极 电介质薄膜 测量光路 光电触发电路 原位测量系统 脉冲激光器 测量电路 电荷分布 加压电路 电路 激光 单刀双掷开关 空间分辨率 直流高压源 待测样品 热脉冲法 限流电阻 耦合电容 接地 不动端 分两路 光入射 分辨率 动端 减小 两路 入射 测量 施加 | ||
【主权项】：
1.一种电介质薄膜中电荷分布的双面原位测量系统，其特征在于，包括待测样品、脉冲激光器、光电触发电路、双面测量光路、加压电路、测量电路；所述待测样品包括待测电介质薄膜和设置在待测电介质薄膜两侧的正面镀层电极和反面镀层电极；所述脉冲激光器产生的激光被分为两路，分别进入所述光电触发电路和双面测量光路中；所述光电触发电路包括相互连接的光电二极管和示波器；所述双面测量光路包括多个反射镜，将激光分两路分别入射到所述正面镀层电极和反面镀层电极；所述加压电路包括与反面镀层电极连接的直流高压源，所述正面镀层电极接地，所述反面镀层电极还通过耦合电容连接单刀双掷开关的动端，所述单刀双掷开关的两个不动端分别连接地和保护电路，所述保护电路与测量电路连接。
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