[发明专利]一种用于干燥晶圆的紧固结构在审
| 申请号： | 201910440366.3 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN109967480A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 沈凌寒;周杲翔 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;F26B25/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 张妍;刘琰 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于干燥晶圆的紧固结构，包括一个位于中间的连接块，三个或者三个以上的连接臂的一端与所述连接块连接，另一端向外伸出，相邻连接臂之间的夹角相等，连接臂的末端设置紧固部件以支撑晶圆，所述紧固部件在离心力的作用下能够紧固晶圆。紧固部件由紧固块以及一个位于主体底部的配重块组成。并且在具体实施时，所述配重块的大小和形状可根据需求进行调整。作为优选，所述紧固块的两个侧面被其所处的连接臂完全遮蔽。本发明提出的干燥晶圆的紧固结构使得整体装置结构更加简洁，固定的力度容易控制，使紧固块能够在底部转台旋转的时候在离心力作用下自行绕轴转动，从而达到固定晶圆的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 连接臂 紧固部件 紧固结构 紧固块 配重块 整体装置结构 离心力作用 绕轴转动 固定的 转台 紧固 遮蔽 相等 优选 伸出 侧面 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于干燥晶圆的紧固结构,包括一个位于中间的连接块(1)，三个或者三个以上的连接臂(2)的一端与所述连接块(1)连接，连接臂(2)的另一端向外伸出，其末端设置紧固部件以支撑水平放置的晶圆，其特征在于，所述紧固部件在离心力的作用下其底部向外运动并带动其顶部向下运动以紧固晶圆。
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