[发明专利]一种柔性传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910395010.2 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN110017923A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 刘宜伟;李法利;李润伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L1/22;C23C14/58;C23C14/20 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 赵兴华 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性传感器及其制备方法。该柔性传感器包括柔性基底、电极、液态金属薄膜，以及柔性封装层；液态金属薄膜位于柔性基底上，由表面氧化的液态金属颗粒组成；柔性封装层位于液态金属薄膜表面；电极位于柔性基底上，用于监测液态金属薄膜某区域间的电信号；在外力作用下，电极之间的电阻由高电阻变化为低电阻，则判断该外力为伤害性外力。该柔性传感器能够感知外界伤害性作用力，将该传感器集成在电子皮肤中可拓展电子皮肤功能。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性传感器 液态金属 柔性基底 电极 薄膜 柔性封装层 伤害性 制备 液态金属颗粒 传感器集成 薄膜表面 表面氧化 皮肤功能 外力作用 低电阻 高电阻 电阻 感知 皮肤 监测 拓展 | ||
【主权项】：
1.一种柔性传感器，其特征是：包括柔性基底、电极、液态金属薄膜，以及柔性封装层；液态金属薄膜位于柔性基底上，由表面氧化的液态金属颗粒组成；柔性封装层位于液态金属薄膜表面；电极位于柔性基底上，用于监测液态金属薄膜一定区域间的电信号；在外力作用下，电极之间的电阻由高电阻变化为低电阻，则判断该外力为伤害性外力。
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