[发明专利]一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置在审

专利信息
申请号: 201910371321.5 申请日: 2019-05-06
公开(公告)号: CN110006256A 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 雷小龙;李宝飞;吕飞;胡云川;李富林 申请(专利权)人: 通威太阳能(成都)有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D3/00;F27D3/04;F27D3/12;F27D19/00;H01L31/18
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 邓芸
地址: 610299 四川省成都市双流*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置,涉及太阳能电池制造技术领域,本发明一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置,包括石英舟、激光测距传感器一、激光测距传感器二以及SIC桨,所述石英舟放置于SIC桨上,所述激光测距传感器一和激光测距传感器二均固定于SIC桨的桨头支架上,本发明可及时检测石英舟的位置偏差,保护石英舟以及硅片,避免因偏差导致损坏。
搜索关键词: 激光测距传感器 石英舟 保护装置 防偏移 扩散炉 推舟 太阳能电池 位置偏差 硅片 桨头 支架 检测 制造
【主权项】:
1.一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置,其特征在于:包括石英舟(1)、激光测距传感器一(2)、激光测距传感器二(3)以及SIC桨(4),所述石英舟(1)放置于SIC桨(4)上,所述激光测距传感器一(2)和激光测距传感器二(3)均固定于SIC桨(4)的桨头支架(41)上。
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