[发明专利]一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置在审
申请号: | 201910371321.5 | 申请日: | 2019-05-06 |
公开(公告)号: | CN110006256A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 雷小龙;李宝飞;吕飞;胡云川;李富林 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(成都)有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D3/00;F27D3/04;F27D3/12;F27D19/00;H01L31/18 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 邓芸 |
地址: | 610299 四川省成都市双流*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置,涉及太阳能电池制造技术领域,本发明一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置,包括石英舟、激光测距传感器一、激光测距传感器二以及SIC桨,所述石英舟放置于SIC桨上,所述激光测距传感器一和激光测距传感器二均固定于SIC桨的桨头支架上,本发明可及时检测石英舟的位置偏差,保护石英舟以及硅片,避免因偏差导致损坏。 | ||
搜索关键词: | 激光测距传感器 石英舟 保护装置 防偏移 扩散炉 推舟 太阳能电池 位置偏差 硅片 桨头 支架 检测 制造 | ||
【主权项】:
1.一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置,其特征在于:包括石英舟(1)、激光测距传感器一(2)、激光测距传感器二(3)以及SIC桨(4),所述石英舟(1)放置于SIC桨(4)上,所述激光测距传感器一(2)和激光测距传感器二(3)均固定于SIC桨(4)的桨头支架(41)上。
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