[发明专利]一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法有效
| 申请号： | 201910344957.0 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110128028B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 王风丽;李双莹;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36;G02B5/08 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 刘燕武 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法，包括以下步骤：(1)取清洗干净的基板置于镀膜机的真空室中，蒸镀一层Al膜；(2)继续在步骤(1)的Al膜上蒸镀一层LiF膜，得到Al/LiF基板；(3)在加热条件下，继续往步骤(2)中的Al/LiF基板的LiF膜上蒸镀MgF |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 紫外 波段 铝基高 反射 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)取清洗干净的基板置于镀膜机的真空室中，蒸镀一层Al膜；(2)继续在步骤(1)的Al膜上蒸镀一层LiF膜，得到Al/LiF基板；(3)在加热条件下，继续往步骤(2)中的Al/LiF基板的LiF膜上蒸镀MgF2膜；(4)停止加热，自然冷却，即得到目的产物。
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