[发明专利]晶圆槽深检测仪器在审
| 申请号： | 201910344862.9 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110081830A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 马观岚 | 申请（专利权）人： | 江苏才道精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/22 | 分类号： | G01B11/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆槽深检测仪器，具有基座，所述基座的工作面上具有大理石平台，所述大理石平台上设有X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件带动产品检测平台在大理石平台的X轴上移动，所述Y轴移动组件带动所述产品检测平台在Y轴上移动，位于所述基座的一端竖直设置Z轴滑动组件，所述Z轴滑动组件上的丝杆传动组件与固定架连接，所述固定架的底部连接有固定冶具，本发明的技术方案其自动化程度高，可以读数且精准度高，提高了检测的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 大理石平台 产品检测 滑动组件 固定架 精准度 上移动 检测 丝杆传动组件 底部连接 竖直设置 晶圆槽 冶具 圆槽 种晶 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆槽深检测仪器，其特征在于：具有基座(1)，所述基座(1)的工作面上具有大理石平台(4)，所述大理石平台(4)上设有X轴移动组件(2)和Y轴移动组件(3)，所述X轴移动组件(2)带动产品检测平台(5)在大理石平台(4)的X轴上移动，所述Y轴移动组件(3)带动所述产品检测平台(5)在Y轴上移动，位于所述基座(1)的一端竖直设置Z轴滑动组件(6)，所述Z轴滑动组件(6)上的丝杆传动组件(7)与固定架(8)连接，所述固定架(8)的底部连接有固定冶具(9)。
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