[发明专利]用于在由脆硬材料制成的基板的体积中产生微结构的方法有效
| 申请号： | 201910344052.3 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110405369B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | A·奥特纳;M·海斯-周奎特;F·瓦格纳;V·希勒;L·布鲁克鲍尔;A·罗特斯;H·艾森曼;S·曼戈尔德 | 申请（专利权）人： | 肖特股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/55 | 分类号： | B23K26/55;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有至少一个开口或空腔的玻璃或玻璃陶瓷元件以及其生产方法，其中将超短脉冲激光器的激光束指向基板的侧面之一上并且借助于聚焦光学器件聚集到在基板中的拉长的焦点上，通过激光束的入射能量在基板的体积中产生丝状损伤，该丝状损伤一直伸展到体积中的预定深度并且特别地不穿过基板，为了产生丝状损伤，超短脉冲激光器发射脉冲或具有至少两个连续的激光脉冲的脉冲群，在插入至少两个丝状损伤后将基板暴露于蚀刻介质中，该蚀刻介质以优选在2μm/h和20μm/h之间的蚀刻速率蚀刻基板的材料，和将至少两个丝状损伤扩展成长丝，和将至少两根长丝连接成空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 制成 体积 产生 微结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在由脆硬材料制成的、优选由玻璃或玻璃陶瓷制成的或包括玻璃或玻璃陶瓷的基板中产生空腔的方法，其中‑将超短脉冲激光器(30)的激光束(27)指向基板(2)的侧面(2，3)之一上并且借助于聚焦光学器件(23)聚集到在基板中的细长的焦点(1)上，其中，通过激光束(27)的入射能量在基板(1)的体积中产生丝状损伤(32)，该丝状损伤一直延伸到体积中的预定深度并且特别地不穿过基板(1)，其中，为了产生丝状损伤(32)，超短脉冲激光器(30)发射脉冲或具有至少两个连续的激光脉冲的脉冲群，其中，在插入至少两个丝状损伤(32)后‑将基板(1)暴露于蚀刻介质(33)中，该蚀刻介质以优选在每小时2μm和每小时20μm之间的蚀刻速率蚀刻基板(1)的材料，和‑将至少两个丝状损伤(32)拓宽成长丝(6)，和‑其中，将至少两根长丝连接成空腔。
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