[发明专利]一种金属氧化物蒸镀靶材的连续热压烧结装置和方法

摘要

本发明涉及一种金属氧化物蒸镀靶材的连续热压烧结装置和方法，该装置包括液压机机架、上液压压头、下液压顶出头、热压炉体、三温段热管和用于靶材成型的石墨模具，上液压压头和下液压顶出头分别安装在液压机机架上，热压炉体通过支撑板安装在液压机机架上，石墨模具安装在热压炉体内，上液压压头上连接有石墨上模杆，下液压顶出头上连接有石墨下模杆，三温段热管一端与热压炉体连接并通过靶材推出通道与石墨模具连通，热压炉体和石墨模具另一侧还设置有推杆，三温段热管从热压炉体往外依次为高温区段、中温区段和低温区段。本发明具有可连续烧结、单片靶材烧结时间短，成型不用掺脂、靶材尺寸控制精度高（可达±0.2mm）的优点，适合批量生产。

主权项

1.一种金属氧化物蒸镀靶材的连续热压烧结装置，其特征在于：包括液压机机架、上液压压头、下液压顶出头、热压炉体、三温段热管和用于靶材成型的石墨模具，所述上液压压头和下液压顶出头分别安装在液压机机架的上端和下端，热压炉体通过支撑板安装在液压机机架上，热压炉体位于上液压压头和下液压顶出头之间，所述石墨模具是中部开有靶材成型移动通道的圆柱体，石墨模具安装在热压炉体内，上液压压头上连接有延伸入石墨模具靶材成型移动通道内的石墨上模杆，下液压顶出头上连接有延伸入石墨模具靶材成型移动通道内的石墨下模杆，热压炉体上分别设置有与石墨模具靶材成型移动通道连通的粉体进料口和抽气口，三温段热管一端与热压炉体连接并通过靶材推出通道与石墨模具的靶材成型移动通道连通，三温段热管通过热管支架支撑，与三温段热管相对的热压炉体和石墨模具另一侧还设置有用于将靶材推至靶材推出通道内的推杆，所述三温段热管从热压炉体往外依次为高温区段、中温区段和低温区段。