[发明专利]一种接触型线性应力传感器及其应力检测方法有效
申请号: | 201910338420.3 | 申请日: | 2019-04-25 |
公开(公告)号: | CN110031139B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 季伟;卢文朔;尹锐;黄庆捷;李景垚 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 许德山 |
地址: | 250199 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于阵列波导光栅结构的接触型线性应力传感器及其应力检测方法,包括输入通道、输入平板波导、特定根数单模波导构成的阵列波导光栅、输出平板波导、输出通道;阵列波导光栅,将构成其的特定根单模波导所属的矩形区域作为折射率敏感区域,即应力接触检测区。本发明接触型线性应力传感器,巧妙利用阵列波导光栅(AWG)对波长敏感的分波特性,即波导芯层有效折射率改变带来相邻波导内不同波长光的相位差的改变,经输出通道波导输出后,不同波导芯层有效折射率对应不同中心波长,实现器件的应力检测的功能。 | ||
搜索关键词: | 一种 接触 线性 应力 传感器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于阵列波导光栅结构的接触型线性应力传感器,其特征在于,包括依次连接的光信号输入模块、阵列波导光栅、光谱检测模块;所述光信号输入模块用于为应力检测提供宽谱光信号,所述阵列波导光栅为施力物体接触区域,所述光谱检测模块用于检测输出信号的波长大小。
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