[发明专利]一种飞秒激光双光束干涉制备周期纳米结构的装置和方法在审
| 申请号： | 201910323352.3 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN109926712A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 贾鑫;贾天卿 | 申请（专利权）人： | 上海电机学院 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/0622;B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 俞磊 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光双光束干涉制备周期纳米结构的装置和方法，其中，装置包括光源、电子快门、半波片、格兰棱镜、分束片、反射镜、延时光路系统、四分之一波片、会聚透镜和样品；分束片将光源产生的飞秒激光脉冲分成透射光束和反射光束，样品设置在透射光束和反射光束的末端，透射光束和反射光束在样品上共焦。本发明通过调节延时光路系统,使得透射光束和反射光束同时到达样品，并在样品上制备周期纳米结构。 | ||
| 搜索关键词： | 反射光束 透射光束 纳米结构 制备周期 延时光路系统 双光束干涉 飞秒激光 分束片 飞秒激光脉冲 四分之一波片 电子快门 格兰棱镜 光源产生 会聚透镜 半波片 反射镜 共焦 光源 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光双光束干涉制备周期纳米结构的装置，其特征在于，包括光源(1)，其用于产生飞秒激光脉冲；电子快门(2)、第一半波片(3)和格兰棱镜(4)，其依次设置在光源(1)的光路上，第一半波片(3)用于调节飞秒激光脉冲的能量，格兰棱镜(4)用于调节飞秒激光脉冲的偏振方向；分束片(5)，其设置在格兰棱镜(4)的末端，用于将飞秒激光脉冲分成透射光束(A)和反射光束(B)；在透射光束(A)的光路上设有第一反射镜(6)，第一反射镜(6)用于将透射光束(A)反射至延时光路系统(7)，在延时光路系统(7)的末端设有第二反射镜(8)，在第二反射镜(8)的反射光路上依次设置有第二半波片(9)、第一四分之一波片(10)和第一汇聚透镜(11)；在反射光束(B)的光路上设有第三反射镜(12)，在第三反射镜(12)的反射光路上设有第四反射镜(13)，在第四反射镜(13)的反射光路上设有第五反射镜(14)，在第五反射镜(14)的反射光路上依次设有第三半波片(15)、第二四分之一波片(16)和第一汇聚透镜(17)；样品(18)设置在透射光束(A)和反射光束(B)的末端，透射光束(A)和反射光束(B)在样品(18)上共焦。
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