[发明专利]一种SiC单晶等离子体电化学抛光装置及其抛光方法有效
| 申请号： | 201910321122.3 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110004484B | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李淑娟;尹新城;李志鹏;赵智渊;贾祯;蒋百铃 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C25F3/30 | 分类号： | C25F3/30;C25F7/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 涂秀清 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种SiC单晶等离子体电化学抛光装置，包括机床台，机床台表面固接电解液箱、脉冲电源和电极组，电极组包括不锈钢电极和SiC单晶电极，不锈钢电极安装在可旋转的电极架上，待处理的SiC单晶电极安装在可旋转的夹持器上，电解液箱通过导管将水基电解液输送到不锈钢电极表面，脉冲电源通过导线连接不锈钢电极和SiC单晶电极。本发明还公开了该抛光装置的抛光方法。本发明公开的抛光装置，解决了现有抛光技术中SiC单晶易产生表面与亚表面损伤，抛光效率低的问题，装置结构简单，容易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic 等离子体 电化学 抛光 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种SiC单晶等离子体电化学抛光装置，其特征在于，包括机床台(1)，所述机床台(1)表面固接电解液箱(2)、脉冲电源(17)和电极组，所述电极组包括不锈钢电极(16)和SiC单晶电极，所述不锈钢电极(16)安装在可旋转的电极架(18)上，所述电极架(18)连接旋转工作台(15)，所述待处理的SiC单晶电极安装在可旋转的夹持器(11)上位于所述旋转工作台(15)的正上方，所述旋转工作台(15)表面粘接抛光垫(14)，所述电解液箱(2)通过导管(9)将水基电解液(3)输送到所述抛光垫(14)表面，所述脉冲电源(17)通过导线连接所述不锈钢电极(16)和所述SiC单晶电极。
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