[发明专利]一种超精密压电微夹持机械手在审
| 申请号： | 201910291973.8 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110774260A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李建平;万嫩;温建明 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | B25J7/00 | 分类号： | B25J7/00;B25J15/00;B25J15/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321004 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超精密压电微夹持机械手，由精密多自由度微纳压电驱动单元和精密微夹持单元组成。其中精密多自由度微纳压电驱动单元由定子柔性铰链和转子构成，利用压电叠堆驱动可进行超精密步进式旋转运动和直线移动。定子柔性铰链中嵌入三层自定心三爪压电箍位机构、旋转驱动机构和直线驱动机构，可进行精密箍位、旋转和直线驱动；转子接口为可变式，可与精密微夹持单元方便连接。精密微夹持单元内嵌入二级柔性铰链放大机构，由压电叠堆驱动，进行精密微夹持操作。具有结构简单、夹持性能稳定、夹持行程大、投资少、效益高等优势，可应用于精密微纳机械夹持操作、精密超精密加工、微机电系统、生物技术等工程科技领域。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 夹持单元 压电驱动单元 转子 多自由度 柔性铰链 压电叠堆 超精密 夹持 压电 嵌入 柔性铰链放大机构 精密超精密加工 旋转驱动机构 直线驱动机构 步进式旋转 夹持机械手 微机电系统 驱动 工程科技 夹持性能 直线驱动 直线移动 机械夹 可变式 自定心 三层 三爪 生物技术 应用 投资 | ||
【主权项】：
1.一种超精密压电微夹持机械手，主要包括精密多自由度微纳压电驱动单元和精密微夹持单元，其中精密多自由度微纳压电驱动单元由定子柔性铰链和转子构成，利用压电叠堆驱动可进行超精密步进式旋转运动和直线移动。其特征在于：所述的定子柔性铰链(8)嵌入上、中、下三层自定心三爪压电箍位机构、旋转驱动机构和直线驱动机构，可进行精密箍位、旋转和直线驱动。/n所述的上、中、下三层自定心三爪压电箍位机构完全相同，各层箍位机构均为三组，呈三角对称布置，分别由上层、中层、下层箍位压电叠堆(7、19、17)、上层、中层、下层楔形块对(6、18、16)和上层、中层、下层紧固螺钉(9、10、11)相应装配组成。/n所述的旋转驱动机构为三组，呈三角对称式布置，分别由旋转驱动压电叠堆(4)和旋转支撑块(5)相应装配组成。/n所述的直线驱动机构为三组，呈三角对称式布置，分别由直线驱动压电叠堆(12)、底层楔形块对(13)和底层紧固螺钉(14)相应装配组成。/n所述的转子(15)为可变式接口设计，通过连接螺钉(1)与精密微夹持单元连接。/n所述的精密微夹持单元，主要由微夹持压电叠堆(2)、微夹持柔性机械手(3)和预紧螺钉(20)构成。/n
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