[发明专利]抗高温循环氧化的厚Ti／TiAlYN多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201910278960.7 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110117773B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张明明;李勇峰;赵红远;吴婷婷;张亚奇;谢文龙;郭昊;苏建修 | 申请（专利权）人： | 河南科技学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/18;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 453003 河南省新乡市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及高温防护涂层领域，具体为一种抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层及其制备方法。该Ti/TiAlYN多层涂层的制备方法包括基体清洗、TiAlYN子层和Ti子层交替沉积以及最外层TiAlYN子层沉积，利用多靶材先后沉积的方式，在TC4基体上交替沉积TiAlYN子层和Ti子层，沉积于基体和最外层均为TiAlYN子层。该Ti/TiAlYN多层涂层具有优异的抗高温循环氧化性能，并具有高韧性的优点，涂层的子层厚度容易控制且可控范围大，工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 循环 氧化 ti tialyn 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗高温循环氧化的厚Ti/TiAlYN多层涂层，其特征在于，该Ti/TiAlYN多层涂层由多个周期的Ti子层和TiAlYN子层组成，先在TC4钛合金基体上沉积一层TiAlYN子层，然后沉积Ti子层，TiAlYN子层和Ti子层依次交替叠加沉积，最外层为TiAlYN子层。
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