[发明专利]一种真空磁控旋转双面镀膜夹具在审
| 申请号： | 201910271472.3 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN109825813A | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 马毅;黄先伟;宋宇轩;俞越翎;张泰华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空磁控旋转双面镀膜夹具，包括步进电机磁控驱动装置及可旋转夹具装置；所述步进电机磁控驱动装置包括真空室腔体，固定在真空室腔体上的步进电机及其驱动装置，焊接在真空室腔体上的中空杆件。步进电机转轴上装有齿轮，齿轮与磁铁旋转套筒通过齿轮啮合方式连接。中空杆件与真空室腔体焊接在一起，中空杆件里面有柔性钢丝绳，柔性钢丝绳上端有呈圆周分布的磁铁，可以和磁铁旋转套筒相配合实现同步旋转。所述可旋转夹具部分包括样品夹具架，在样品夹具架的左右两边相应连接有左右样品夹具，左右样品夹具可以在样品架上移动，以适应各种尺寸的方形样品，左右样品夹具可以通过螺丝固定在样品架上。 | ||
| 搜索关键词： | 样品夹具 真空室腔 磁控 步进电机 驱动装置 中空杆件 磁铁 夹具 可旋转夹具 柔性钢丝绳 双面镀膜 旋转套筒 样品架 齿轮 焊接 步进电机转轴 齿轮啮合方式 方形样品 螺丝固定 同步旋转 圆周分布 上移动 上端 两边 配合 | ||
【主权项】：
1.一种真空磁控旋转双面镀膜夹具，其特征在于，包括步进电机磁控驱动装置及可旋转夹具装置；所述步进电机磁控驱动装置包括真空室腔体（2）、固定在真空室腔体（2）上的步进电机（4）、固定在真空室腔体（2）上的中空杆件（5）；所述步进电机（4）的转轴上装有步进电机齿轮（3），所述中空杆件（5）顶部设有磁铁旋转套筒（1），所述步进电机齿轮（3）与磁铁旋转套筒（1）相啮合；所述中空杆件（5）内设有柔性钢丝绳（16），柔性钢丝绳（16）上端有呈圆周分布的磁铁（19），能够与磁铁旋转套筒（1）相配合实现同步旋转；所述可旋转夹具部分包括样品夹具架（8）、设置在样品夹具架（8）的一边的左样品夹具（11）及设置在样品夹具架（8）另一边的右样品夹具（13），所述左样品夹具（11）及右样品夹具（13）能够在样品架（8）上移动，从而进行夹持。
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