[发明专利]一种高附着耐蚀刻光敏树脂组合物有效
申请号: | 201910267870.8 | 申请日: | 2019-04-03 |
公开(公告)号: | CN109828436B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 朱薛妍;李伟杰;李志强;周光大 | 申请(专利权)人: | 杭州福斯特电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 邱启旺 |
地址: | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种高附着耐蚀刻光敏树脂组合物,所述光敏树脂组合物主要由45‑70wt%重均分子量在50,000‑150,000的碱可溶性共聚物树脂、15‑45wt%的烯属光聚合性不饱和单体、1‑10wt%的光聚合引发剂及0.5‑5wt%添加剂组成,其中,所述碱可溶性聚合物树脂由含有双六元环刚性结构的环烯类酸酐、(甲基)丙烯酸和丙烯酸酯类化合物自由基聚合而成。包含上述碱可溶性聚合物树脂的光敏树脂组合物具备高附着性能、良好的解析度与耐蚀刻性能,有效地减少了蚀刻工艺中断路现象的发生,在PCB生产过程中大大提升了良率与效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 附着 蚀刻 光敏 树脂 组合 | ||
【主权项】:
1.一种高附着耐蚀刻光敏树脂组合物,其特征在于,所述光敏树脂组合物主要由45‑70wt%重均分子量在50,000‑150,000的碱可溶性共聚物树脂、15‑45wt%的烯属光聚合性不饱和单体、1‑10wt%的光聚合引发剂及0.5‑5wt%添加剂组成,其中,所述碱可溶溶性共聚物树脂是由结构通式(Ⅰ)所示的含有双六元环刚性结构的环烯类酸酐、结构通式(Ⅱ)所示的(甲基)丙烯酸、结构通式(Ⅲ)所示的(甲基)丙烯酸酯自由基聚合而成。
其中,R1、R2分别独立地选自氢原子、甲基、乙基、丙基、异丙基。
其中,R3为氢原子或甲基。
其中,R4为氢原子或甲基,R5选自C1‑C18的烷基、C2‑C6的烷氧基。
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