[发明专利]基于臭氧/紫外辐射处理的柔性电容传感器

摘要

本发明公开基于臭氧/紫外辐射处理的柔性电容传感器，包括具有柱状微结构的PDMS介电层以及两个电极，PDMS介电层制作方法为：分两次匀涂PMDS胶在载玻片上，第一次涂完后固化处理，得到第一层PDMS膜，继续匀涂，得到第二层PDMS膜，形成初步介电层；将具有孔洞的PCET模板放在第二层PDMS膜上，对该PCET模板与初步介电层抽真空处理，使PDMS进入PCET模板的孔洞里，经过固化后形成稳定的柱状微结构；洗除PCTE模板，初步形成具有柱状微结构的PDMS介电层；对柱状微结构臭氧/紫外辐射处理，在柱状微结构表面形成硬度较强的硅氧化物，形成具有柱状微结构的PDMS介电层。本发明既可长时间维持柱状微结构，使得介电层具有很大可压缩性，又可保证传感器具有稳定高灵敏度。