[发明专利]臭氧/紫外辐射处理银纳米线嵌入PDMS的电容传感器在审
| 申请号： | 201910260104.9 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111765911A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 邹强;马卓敏 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 韩新城 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开臭氧/紫外辐射处理银纳米线嵌入PDMS的电容传感器，包括具有柱状微结构的PDMS介电层以及两个嵌有AgNWs的PDMS导电膜构成的电极，PDMS介电层制作是：分两次匀涂PMDS胶在载玻片上，第一次涂完后固化处理得到第一层PDMS膜，继续匀涂得到第二层PDMS膜，形成初步介电层；将具有孔洞的PCET模板放在第二层PDMS膜上抽真空处理，形成稳定的柱状微结构；洗除PCTE模板，初步形成具有柱状微结构的介电层；对柱状微结构进行臭氧/紫外辐射处理，形成具有柱状微结构的PDMS介电层。本发明既有很大压缩性的微结构和导电填充材料的柔性电极，又可保证传感器具有稳定高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 臭氧 紫外 辐射 处理 纳米 嵌入 pdms 电容 传感器 | ||
【主权项】：
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