[发明专利]面向超声冲击加工的光路辅助显微视觉检测系统和方法

摘要

本发明公开了一种面向超声冲击加工的光路辅助显微视觉检测系统和方法，所述系统包括显微视觉相机、工控机、一号镜面偏转装置、二号镜面偏转装置、超声冲击刀具、加工平台、加工工件、LED光源，其中：所述工控机分别与显微视觉相机、一号镜面偏转装置、二号镜面偏转装置、LED光源线路连接；所述LED光源发出的光线照射在加工工件上，经一号镜面偏转装置的镜面和二号镜面偏转装置的镜面反射后由显微视觉相机在位采集超声冲击刀具形貌和加工工件表面微结构尺寸信息图像。本发明通过在位检测可以对加工过程进行及时的控制和管理，并且在发生误差后可以及时修改，降低超声冲击精密加工的生产成本和废品率。

主权项

1.一种面向超声冲击加工的光路辅助显微视觉检测系统，其特征在于所述系统包括显微视觉相机、工控机、一号镜面偏转装置、二号镜面偏转装置、超声冲击刀具、加工平台、加工工件、LED光源，其中：所述工控机分别与显微视觉相机、一号镜面偏转装置、二号镜面偏转装置、LED光源线路连接；所述一号镜面偏转装置和二号镜面偏转装置结构相同，包括高精度舵机、法兰盘、螺钉、U型支架、镜面，法兰盘通过螺钉与高精度舵机进行固定，U型支架通过螺钉与法兰盘进行固定，镜面粘接在U型支架上；所述加工平台上安装有超声冲击刀具；所述超声冲击刀具的下方设置有加工工件；所述LED光源发出的光线照射在加工工件上，经一号镜面偏转装置的镜面和二号镜面偏转装置的镜面反射后由显微视觉相机在位采集超声冲击刀具形貌和加工工件表面微结构尺寸信息图像。