[发明专利]一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置

摘要

本发明公开的一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，包括上下相对设置的下转盘和上转盘，下转盘的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿U型通孔垂直方向设置有下轴承，下轴承上连接下传动轴，每个下传动轴下端嵌套有小齿轮，小齿轮啮合在位于下转盘下方中心位置的大齿轮上；下传动轴上连接有嵌套设置在工件转盘上的上传动轴，工件转盘上设置有工件座，工件座下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮，上转盘和下转盘之间固定有一圈均匀分布的支撑柱，支撑柱位于下传动轴或上传动轴的内侧，每个支撑柱上还设置有拨杆架，拨杆架一端与自转齿轮相接触。该装置成功解决了传统公转和自转装置结构复杂、高温下转架转速不平稳的技术难题。

主权项

1.一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，其特征在于，包括上下相对设置的下转盘(15)和上转盘(11)，所述下转盘(15)的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿所述U型通孔垂直方向设置有下轴承(4)，下轴承(4)上连接下传动轴(3)，每个所述下传动轴(3)下端嵌套有小齿轮(2)，所述小齿轮(2)啮合在位于下转盘(3)下方中心位置固定的大齿轮(1)上；所述下传动轴(3)上连接有上传动轴(9)，所述上传动轴(9)上部嵌套设置在工件转盘(7)上；所述工件转盘(7)上设置有若干个均匀分布的工件座(8)，所述工件座(8)下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮(6)，所述自转齿轮(6)通过从下而上穿过下自转盘(7)的螺钉与工件座(7)固定；所述上转盘(11)和下转盘(15)之间固定有一圈均匀分布、竖直放置的支撑柱(10)，所述支撑柱(10)位于下传动轴(3)或上传动轴(9)的内侧，每个所述支撑柱(10)上还设置有拨杆架(14)，所述拨杆架(14)一端与自转齿轮(6)相接触；所述下传动轴(3)和上传动轴(9)之间采用连接器(5)固定连接。