[发明专利]掩膜板组件及掩膜板组件拼接精度的检测方法

摘要

本发明公开了一种掩膜板组件及掩膜板组件拼接精度的检测方法，掩膜板组件包括两个以上的掩膜板，两个以上的掩膜板能够相拼接形成预设的掩膜图案，掩膜板包括：基底层，包括掩膜区以及环绕在掩膜区周侧的非掩膜区，掩膜区包括用于拼接形成掩膜图案的掩膜图案单元，非掩膜区包括用于拼接的拼接区域；以及电阻层，设置于拼接区域且沿平行于拼接界面的第一方向延伸预定宽度；其中，相邻两个掩膜板的电阻层对接形成待测电阻，待测电阻的电阻值与对接接触面积的大小成反比。本发明提供的掩膜板组件及掩膜板组件拼接精度的检测方法，能够直观、有效地监测掩膜板组件的拼接精度。

主权项

1.一种掩膜板组件，其特征在于，包括两个以上的掩膜板，两个以上的所述掩膜板能够相拼接以形成预设的掩膜图案，所述掩膜板包括：基底层，包括掩膜区以及环绕在所述掩膜区周侧的非掩膜区，所述掩膜区包括用于拼接形成所述掩膜图案的掩膜图案单元，所述非掩膜区包括用于拼接的拼接区域；以及电阻层，设置于所述拼接区域且沿平行于拼接界面的第一方向延伸预定宽度；其中，相邻两个所述掩膜板的所述电阻层对接形成待测电阻，所述待测电阻的电阻值与对接接触面积的大小成反比。