[发明专利]基于电液放大的三自由度精密微位移探针及其测量方法在审
| 申请号： | 201910226106.6 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN109798819A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 刘毅;姜孝吾;陈远流;徐巧宁;王平 | 申请（专利权）人： | 浙江大学宁波理工学院 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02;G01B7/02 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 刘芬豪 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针，包括基座、探针头和三个测量臂。测量臂包括电液放大器和连杆，电液放大器内部设有腔体，腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段，小直径段位于电液放大器固定连接于基座的一端，小直径段设有压电陶瓷，变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小，活塞沿大直径段做轴向运动；腔体在活塞与压电陶瓷之间充满液体；连杆的两端分别设有柔性球铰以分别连接于电液放大器的活塞和探针头。测量方法包括采用三自由度结构，将刚性探针头作用在被测物体表面上，通过3组连杆及电液放大器，将被测物体的空间位移，转换成三组电压信号，通过对三组电压信号的解耦，分析计算出被测物体的实际位移。 | ||
| 搜索关键词： | 电液放大器 活塞 三自由度 小直径段 腔体 被测物体 变直径段 大直径段 压电陶瓷 测量臂 探针头 微位移 组电压 电液 探针 精密 放大 测量 被测物体表面 充满液体 分析计算 刚性探针 空间位移 柔性球铰 实际位移 依次设置 轴向运动 逐渐减小 解耦 转换 | ||
【主权项】：
1.一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针，其特征在于，包括基座、探针头和三个测量臂；所述测量臂包括电液放大器和连杆，所述电液放大器内部设有腔体，所述腔体的开口处设有活塞，所述腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段，所述小直径段位于所述电液放大器固定连接于所述基座的一端，所述小直径段设有压电陶瓷，所述变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小，所述活塞沿所述大直径段做轴向运动；所述腔体在所述活塞与所述压电陶瓷之间充满液体；所述连杆的两端分别设有柔性球铰以分别连接于所述电液放大器的活塞和所述探针头。
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