[发明专利]一种双探针原子力显微镜有效
| 申请号： | 201910212152.0 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN109799368B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;裘晓辉 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及原子力显微镜技术领域，公开一种双探针原子力显微镜。所述双探针原子力显微镜包括两组力学检测组件、两组光热激励组件、两组探针组件和光学组件，力学检测组件包括发射检测用激光的力学检测激光器，光热激励组件包括发射光热用激光的光热激光器，探针组件包括微悬臂和固定于微悬臂上的探针针尖，光学组件能够使检测用激光聚焦于微悬臂的前端，并使光热用激光聚焦于微悬臂的后端。本发明采用两组探针组件，检测灵敏度高；采用光热激励组件控制微悬臂的振动频率，避免了机械杂峰的出现，两组力学检测组件和两组光热激励组件均共用一组光学组件，结构紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 原子 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种双探针原子力显微镜，其特征在于，包括：力学检测组件(1)，其包括力学检测激光器(11)，所述力学检测激光器(11)用于发射检测用激光(12)；光热激励组件(2)，其包括光热激光器(21)，所述光热激光器(21)用于发射光热用激光(22)；探针组件(4)，其包括微悬臂(41)和探针针尖(42)，所述探针针尖(42)固定于所述微悬臂(41)上；光学组件(3)，所述光学组件(3)能够使所述检测用激光(12)聚焦于所述微悬臂(41)的前端，所述光学组件(3)能够使所述光热用激光(22)聚焦于所述微悬臂(41)的后端，所述光热用激光(22)能够使所述微悬臂(41)的后端振动；所述力学检测组件(1)、所述光热激励组件(2)和所述探针组件(4)的数量均为两组，所述力学检测组件(1)与所述探针组件(4)一一对应设置，所述光热激励组件(2)和所述探针组件(4)一一对应设置。
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