[发明专利]一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法

摘要

本发明涉及一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法，包括：光电探测器1，与分束镜结合置于探测光路中，以测量入射光能量；光电探测器2，固定在积分球内探测孔处，以测量散射光能量；二维旋转系统，用于固定待测元件，并且安装于XY导轨上，以实现待测元件的多轴联动。本发明的测量原理是：由激光光源发射的探测光束依次穿过分束镜、激光扩束器、高反射镜，经积分球入射孔投射到被测元件上，形成散射光；所述散射光的镜面部分经积分球出射孔/样品孔离开积分球，由光收集器收集；所述散射光的漫散射部分在积分球内多次反射形成均匀光，由光电探测器2测量。根据本发明的检测装置可实现平面光学元件表面疵病级数的快速检测。

主权项

1.基于总散射测量的平面光学元件表面质量快速检测装置，其特征在于，包括激光光源、分束镜、激光扩束器、孔径光阑、高反射镜、积分球、CMOS图像传感器、光收集器、漫反射板、光电探测器1、光电探测器2、XY二维导轨、二维旋转系统、Z导轨、平面光学元件；平面光学元件固定于二维旋转系统上，二维旋转系统安装于XY导轨上，从而实现平面光学元件的多轴联动；CMOS图像传感器连接到外部图像处理器上并固定在积分球底部，积分球固定于Z向导轨上，并随着Z向导轨延Z轴方向平动，光电探测器2固定在积分球探测孔处；光电探测器1置于探测光路中，结合激光分束镜，实现探测光束能量的实时监控。