[发明专利]光扫描装置有效
申请号: | 201910195025.4 | 申请日: | 2019-03-14 |
公开(公告)号: | CN110275287B | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
发明(设计)人: | 山田健介 | 申请(专利权)人: | 三美电机株式会社 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 张敬强;李平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明抑制由形成于反射镜支撑部的表面的表面膜的膜应力引起的反射镜的平面度的恶化。本发明的光扫描装置具有形成有反射激光的反射镜的反射镜支撑部、具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁且与上述反射镜支撑部连接的驱动梁、形成于上述梁的一个面上的驱动源、形成于上述反射镜支撑部的背面中与上述反射镜对置的位置的肋、以及使上述反射镜支撑部在除了上述反射镜以外的区域的上述反射镜支撑部的表面处露出的露出部,通过上述驱动源的驱动,驱动上述反射镜支撑部使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。 | ||
搜索关键词: | 扫描 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光扫描装置,其特征在于,具有:反射镜支撑部,其形成有反射激光的反射镜;驱动梁,其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁,且与上述反射镜支撑部连接;驱动源,其形成于上述梁的一个面上;肋,其形成于上述反射镜支撑部的背面中与上述反射镜对置的位置;以及露出部,其使上述反射镜支撑部在除了上述反射镜以外的区域的上述反射镜支撑部的表面露出,通过上述驱动源的驱动,驱动上述反射镜支撑部使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。
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