[发明专利]一种可获得光谱信息的白光显微干涉测量系统及方法在审
| 申请号： | 201910187100.2 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109781633A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 刘兆军;辛磊;杨忠明;刘振华 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N21/45;G01N21/25;G01B11/24 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 陈桂玲 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可获得光谱信息的白光显微干涉测量系统及方法，属于精密测量领域，包括宽光谱光源、第一分束器、第一显微物镜、第二分束器、第二显微物镜、第一CCD探测器和光谱探测模块；光源发出的光经分束器分成反射光与透射光，分别经过参考光路与测试光路后，在分束器上干涉后被CCD探测器接收，获得待测平面的表面微观形貌；在测试光路中加入分束器，将包含待测平面光谱信息的反射光学信号引入光谱探测模块，获得干涉图样经由PC终端傅里叶变换计算，获得光谱信息。本发明的思想新颖，将表面形貌检测原理与傅里叶变换光谱分析原理相结合，可以同时获得样本的表面立体形貌及其光谱信息，实现物体的多元测量，节省实验步骤与时间。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱信息 分束器 显微干涉测量 傅里叶变换 测试光路 光谱探测 显微物镜 白光 表面微观形貌 表面形貌检测 反射光学信号 精密测量领域 宽光谱光源 参考光路 干涉图样 光谱分析 立体形貌 实验步骤 反射光 平面的 透射光 光源 样本 测量 干涉 引入 | ||
【主权项】：
1.一种可获得光谱信息的白光显微干涉测量系统，其特征在于，包括宽光谱光源、第一分束器、第一显微物镜、第二分束器、第二显微物镜、第一CCD探测器和光谱探测模块；所述宽光谱光源经一准直透镜准直成平行光后垂直入射到第一分束器上，分成透射光T1与反射光F1，反射光F1经第一显微物镜聚焦在参考平面上，再经参考平面反射后得到参考光，参考光沿光轴方向照射在第一分束器上，透射光T1经过第二分束器分成透射光T2和反射光F2，透射光T2经第二显微物镜聚焦于待测平面上，由待测平面反射得到测试光，测试光沿光轴方向照射在第一分束器上，在所述第一分束器上参考光与测试光干涉生成干涉光经第一聚焦透镜，被所述第一CCD探测器接收；反射光F2入射到光谱探测模块。
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