[发明专利]一种物镜装置有效
| 申请号： | 201910150666.8 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111624731B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 毛辰奇;杨志斌 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种物镜装置。该物镜装置包括：光线传播单元、气体供给单元和控制单元；光线传播单元包括沿光线传播方向依次排列的第一镜组、波前补偿器和第二镜组；第一镜组和/或第二镜组中设置有第一压力感应单元，波前补偿器内设置有第二压力感应单元，第一压力感应单元与第二压力感应单元分别与控制单元连接；气体供给单元用于输出具有预设压力稳定度与预设纯度的气体至波前补偿器；控制单元用于根据第一压力感应单元探测到的第一压力值与第二压力感应单元探测到的第二压力值调节气体供给单元的气体输出量，以使第一压力值与第二压力值的差值在预设压差阈值范围内。由此，可提高开放环境中的气体稳定性，有利于提高物镜装置的光学性能稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物镜 装置 | ||
【主权项】：
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