[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片的制绒装置在审
| 申请号： | 201910148247.0 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN109680340A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 沈鸿烈;陈春明 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种便于控制酸蒸汽温度和衬底初始温度的金刚线切割多晶硅片的制绒装置。该装置包括一个保温腔室的温度控制装置、一个产生稳定蒸汽的腐蚀液腔室、一个硅片的保温腔室和一个废蒸汽以及腐蚀副产物的处理与收集装置。保温腔室外面的加热装置为水浴或者油浴。腐蚀液蒸汽腔室与衬底保温腔室由可移动的密封盖隔离，废蒸汽与反应副产物回收装置与衬底保温腔室由导气管连接，温度控制装置的热电偶置于衬底保温腔室中。本发明主要是通过温度控制装置可以有效地控制硅片腐蚀之前的初始温度，而调节硅片距离蒸气腔室口的高度和蒸汽腔室温度，可更有效地控制硅片的腐蚀速率。本制绒装置操作简单，容易控制反应状态，在去除金刚线切割多晶硅片表面线痕的同时，可获得较低的反射率，有很好的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 保温腔室 衬底 温度控制装置 多晶硅片 制绒装置 线切割 硅片 有效地控制 废蒸汽 腔室 腐蚀 反应副产物 腐蚀液蒸汽 表面线痕 反应状态 硅片腐蚀 回收装置 加热装置 收集装置 蒸气腔室 蒸汽腔室 保温腔 导气管 反射率 腐蚀液 副产物 可移动 密封盖 热电偶 酸蒸汽 水浴 油浴 去除 蒸汽 室外 隔离 应用 | ||
【主权项】：
1.一种酸蒸汽腐蚀金刚线切割多晶硅的制绒装置，其特征在于：它包括温度控制装置，热电偶，保温腔室的加热装置，外部加热装置，腐蚀液蒸汽腔室，腔室隔离盖，可调节高度的硅片支撑花篮，废蒸汽收集装置，导气管和保温腔室。
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