[发明专利]加热闸阀有效
申请号: | 201910143167.6 | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN110043711B | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 许俊树;林赐民 | 申请(专利权)人: | 日扬电子科技(上海)有限公司 |
主分类号: | F16K49/00 | 分类号: | F16K49/00 |
代理公司: | 北京思格颂知识产权代理有限公司 11635 | 代理人: | 王申 |
地址: | 200444 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种加热闸阀,至少包括:具有至少一阀口的阀体;闸板在阀体中进行位移以开启或封闭阀口;以及加热装置用以加热闸板且随着闸板进行位移。这样,可使得阀体与闸板加热至所需温度,能够避免制程气体中的粒子产生沉积。 | ||
搜索关键词: | 加热 闸阀 | ||
【主权项】:
1.一种加热闸阀,其特征在于,至少包括:阀体,具有至少一阀口;闸板,在该阀体中进行位移,以开启或封闭该阀口;以及加热装置,用以加热该闸板且随着该闸板进行该位移。
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