[发明专利]真空镀膜工艺中基于互联网的工艺参数调整方法

摘要

本发明公开了真空镀膜工艺中基于互联网的工艺参数调整方法，包括用户使用的PC终端/手持终端、起到工艺参数实时在线传输作用的工业智能网关、用于给多个电性元件提供电能的镀膜机控制电箱、承载多个电性监测调控元件的镀膜机腔室、辅助用户对真空镀膜工艺参数进行监管的在线监管APP。利用了成熟的互联网技术，将真空镀膜工艺过程中的各种参数通过工业智能网关及时反馈给用户的PC终端/手持终端，用户需要对真空镀膜工艺的参数进行调整时，只需要借助PC终端/手持终端内置安装的在线监管APP，即可快速实现参数调整，使得整个真空镀膜工艺更加井然有序的进行，提高了镀膜工艺的工作效率，节约了大量的人力成本。

主权项

1.真空镀膜工艺中基于互联网的工艺参数调整方法，包括用户使用的PC终端/手持终端、起到工艺参数实时在线传输作用的工业智能网关、用于给多个电性元件提供电能的镀膜机控制电箱、承载多个电性监测调控元件的镀膜机腔室、辅助用户对真空镀膜工艺参数进行监管的在线监管APP、辅助用户在在线监管APP上进行登陆的用户登录模块以及用于给在线监管APP自动更新升级的在线升级模块，其特征在于：所述镀膜机腔室承载的多个电性监测调控元件对镀膜机腔室内部的多种工艺参数进行实时在线监测，并将监测的数据结果通过工业智能网关实时反馈给PC终端/手持终端中内置安装的在线监管APP上，便于用户时刻了解镀膜机腔室内部的参数状态，所述镀膜机腔室内部的镀膜工艺参数不在人工设定参数阙值范围内时，用户可通过所述在线监管APP中的各个监管模块对工艺参数进行修正处理，所述工业智能网关将修正的工艺参数数据及时传输给镀膜机控制电箱，通过所述镀膜机腔室内部设置的控制单元控制各个工艺参数的执行元件进行及时修正调整；所述镀膜机腔室的内部安装有用于监测内部真空度的真空传感器、用于监测内部温度的温度传感器、用于监测内部湿度的湿度传感器以及用于监测内部工件传输速度的速率传感器，所述镀膜机腔室的外部关联性连接有用于对镀膜机腔室内部真空度进行调整的真空泵和电磁阀I、用于对镀膜机腔室内部温度调整的冷凝泵和电磁阀II、用于对镀膜机腔室内部湿度进行调整的氩、氮气输送泵和气体流量控制器以及用于对工件的移动速度进行调整的调速电机，所述真空传感器、温度传感器、湿度传感器以及速率传感器将监测的数据通过PLC控制器反馈给镀膜机控制电箱上所设置的人机交互界面；所述在线监管APP内置有多个监管模块，其中包括真空度监管模块、温度监管模块、湿度监管模块以及速率监管模块；所述真空度监管模块包括用于显示镀膜机腔室内部真空度数据的真空度显示模块以及便于用户直接对镀膜机腔室内部真空度数据进行调整的真空度调整模块；所述温度监管模块包括用于显示镀膜机腔室内部温度数据的温度显示模块以及便于用户直接对镀膜机腔室内部温度数据进行调整的温度调整模块；所述湿度监管模块包括用于显示镀膜机腔室内部湿度数据的湿度显示模块以及便于用户直接对镀膜机腔室内部湿度数据进行调整的湿度调整模块；所述速率监管模块包括用于显示镀膜机腔室内部镀件输送速度的速率显示模块以及便于用户直接对镀膜机腔室内部镀件的输送速度进行调整的速率调整模块。