[发明专利]AFM轻敲模式下表征成像质量的方法

摘要

本发明涉及一种AFM轻敲模式下表征成像质量的方法，其利用幅值误差表征AFM在轻敲模式下扫描样品表面时成像质量的高低。其主要包括以下步骤：利用AFM扫描样品表面获取幅值误差图，导出幅值误差值；针对周期性台阶表面通过公式计算得到幅值误差平均值；针对随机表面，通过公式计算得到幅值误差算术平均偏差值；以幅值误差平均值或幅值误差的算术平均偏差值的大小表征成像质量的高低，值越大表示成像质量越差。反之，成像质量越好。

主权项

1.一种AFM轻敲模式下表征成像质量的方法，其特征在于，其包括如下步骤：步骤一：双压电晶片振动驱动器带动探针在样品表面以预设的频率做有阻尼的受迫振动，探针按照预设间隔间断地与样品表面接触，采集每一数据采集点处压电扫描管在x、y方向的偏置电压，得到每一接触点的位置信息，同时采集每一数据采集点处在Z方向上的探针工作幅值与系统设定幅值的差值信号，从而得到被测样品表面的幅值误差图；所述样品表面包括周期性台阶表面和随机表面；步骤二：获取幅值误差图；步骤三：从步骤二中得到各时刻和各位置的的幅值误差图中到处幅值误差值；若样品表面为周期性台阶表面，则转入步骤四；若样品表面为随机表面，则转入步骤五；步骤四：针对周期性台阶表面通过公式一计算得到幅值误差平均值，转入步骤六；步骤五：针对随机表面，通过公式二计算得到幅值误差算术平均偏差值，转入步骤六；步骤六：幅值误差平均值或幅值误差的算术平均偏差值的大小表征成像质量的高低，幅值误差平均值或幅值误差的算术平均偏差值越大表示成像质量越差；幅值误差平均值或幅值误差的算术平均偏差值越小，成像质量越好。