[发明专利]一种溅射靶装置在审
| 申请号： | 201910136286.9 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN109706428A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 鲁旭亮;张越臣;陈龙 | 申请（专利权）人： | 常州星宇车灯股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 王清 |
| 地址： | 213022 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅射靶装置，它包括靶框，靶框的上方依次设置水套板和靶材；靶框的中心设置有第一磁铁，第一磁铁的外围间隔环设第二磁铁，且第一磁铁和第二磁铁之间设置隔离块、第二磁铁和靶框的内壁之间设置隔离块；第一磁铁和第二磁铁下方设置闭磁板，闭磁板上设置有用于调节闭磁板与靶材距离的调节螺丝；靶框的下方设置背板。本发明用于解决溅射靶漏磁以及磁场强度的调节，可以广泛用于真空镀膜加工技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 磁铁 靶框 磁板 溅射靶装置 隔离块 靶材 加工技术领域 依次设置 真空镀膜 中心设置 间隔环 溅射靶 水套板 背板 漏磁 螺丝 内壁 磁场 外围 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶装置，其特征在于：它包括靶框(1)，所述靶框(1)的上方依次设置一水套板(2)和一靶材(3)；所述靶框(1)的中心设置有一第一磁铁(4)，所述第一磁铁(4)的外围间隔环设一第二磁铁(5)，且所述第一磁铁(4)和所述第二磁铁(5)之间设置隔离块(6)、所述第二磁铁(5)和所述靶框(1)的内壁之间设置所述隔离块(6)；所述第一磁铁(4)和所述第二磁铁(5)下方设置一闭磁板(7)，所述闭磁板(7)上设置有一用于调节所述闭磁板(7)与所述靶材(3)距离的调节螺丝(8)；所述靶框(1)的下方设置一背板(9)。
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