[发明专利]一种激光多焦点切割球差矫正方法及装置有效
| 申请号： | 201910130112.1 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN109702322B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 季凌飞;马瑞;燕天阳 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于激光加工技术领域，提供了一种激光多焦点切割透明材料球差矫正方法及装置，所用装置由可拆卸光阑(5a)、可移动的环形凸透镜(5b)和可移动的环形凹透镜(5c)组成。其矫正方法包括：根据多焦点激光的焦距与预切割透明材料厚度，得出预矫正球差的大小，确定光阑直径与环形透镜大小；根据折射球面的光线追迹公式与得到的预矫正球差大小，计算环形凸透镜与环形凹透镜的曲面形状；对光线进行追迹计算，确定环形凸透镜与环形凹透镜的间距，使得该透镜组引入的负球差可矫正因材料表面对入射光折射而引入的正球差。该发明能直接应用于多焦点激光切割设备上，提高现有多焦点激光切割设备的加工质量，并且可满足不同材料与厚度的加工需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 焦点 切割 矫正 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光多焦点切割球差矫正装置，其特征在于，包括：可更换拆卸光阑，对所述多焦点激光的近轴光束部分进行遮挡；可移动的环形凸透镜，对所述多焦点激光的远轴光束部分引入负球差，校正由于材料表面对入射光折射而产生的正球差；可移动的环形凹透镜，其曲率半径与环形凸透镜的曲率半径大小相等，对由凸透镜引入的负球差进行微调，使得凸透镜引入的负球差能校正透明材料表面引入的正球差，并且通过微调两透镜的间隔，满足不同材料与厚度的激光多焦点切割需求。
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