[发明专利]一种容性耦合等离子体放电装置有效
| 申请号： | 201910121096.X | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111586957B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘永新;王祥宇;苏子轩;王友年 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杜阳阳 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种容性耦合等离子体放电装置。该等离子体放电装置包括：真空腔室、位于真空腔室内的上平板电极和下平板电极以及位于上平板电极与下平板电极之间的层层堆叠的绝缘环；每个绝缘环均与相邻的绝缘环之间存在间隙；层层堆叠的绝缘环中最上方的绝缘环与上平板电极的下表面接触，最下方的绝缘环与下平板电极的上表面接触；上平板电极连接有第一放电驱动杆，第一放电驱动杆延伸至真空腔室外；下平板电极连接有第二放电驱动杆，第二放电驱动杆延伸至真空腔室外。采用本发明的等离子体放电装置能够在实验过程中保证等离子体的轴对称性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耦合 等离子体 放电 装置 | ||
【主权项】：
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