[发明专利]一种“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法有效
| 申请号： | 201910113237.3 | 申请日： | 2019-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN109755849B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 姚一村;张丽强;德特列夫·基普;克里斯汀·埃尔文·豪恩霍斯特;塞吉·索恩索夫;多米内克·布鲁斯克;伊娃·法茨格拉夫 | 申请（专利权）人： | 聊城大学 |
| 主分类号： | H01S3/063 | 分类号： | H01S3/063;H01S3/06 |
| 代理公司： | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 李浩成 |
| 地址： | 252059 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种新型“面发射”型波导激光谐振腔的设计和制备方案，属于集成光子学器件制备技术领域。在晶体片的侧面制备三条波导，其中两条较短的波导垂直于晶体大面，另一条较长的波导作为主谐振腔，并与前两条波导垂直。三条波导相连构成类“之”字形。利用精密金刚石刀切割的方法，在波导连接处分别切割形成两个沟槽作为全反射镜。其特点及优势主要包括：1.实现了类似半导体VCSEL激光器的面发射特性，有利于波导激光的后续封装；2.使波导激光器结构更为紧凑，降低了光路校对的难度，提高了系统稳定性；3.适用于各类全晶体波导激光器，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发射 波导 激光器 谐振腔 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种新型“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法，其特征在于，步骤如下：①在晶体的侧面制备三条波导，分别为波导1、波导2和波导3，波导2与波导1和波导3垂直，三条波导相连构成类“之”字形；②利用精密金刚石刀切割的方法，垂直于该侧面，在两波导交叠形成的正方形区域分别切割形成两个沟槽作为全反射镜，全反射镜与晶体大面的夹角均为45°；③入射端与出射端的激光腔镜直接固定在晶片的两个大面。
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