[发明专利]一种用于探针台的测试头在审
申请号: | 201910096178.3 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN111505348A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 成家柏;郑勇军;陈巍;林薇;郭丹;郑锴 | 申请(专利权)人: | 杭州广立微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人: | 吴双 |
地址: | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于探针台的测试头,与载台和探针卡配合使用,包括盖板、固定框架、接口板、针塔和盒体;接口板上设有接头和向下的连接点,连接点与接头电连接,接口板与固定框架安装固定;针塔安装在固定框架下,针塔设置有针孔,针孔内安装有弹簧针,弹簧针的上端与接口板的连接点接触连接,弹簧针的下端用于和探针卡的探针接触连接;盖板另一端相对转动轴翻转实现盖板和盒体之间的闭盖状态和开盖状态;在闭盖状态下,针塔的弹簧针下端能穿过盒体底部的通孔A与探针卡上的探针形成接触连接。本申请能够通过简单的结构实现与探针的可靠连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 探针 测试 | ||
【主权项】:
暂无信息
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