[发明专利]一种准分子激光器的多参数采集控制系统

摘要

本发明提供了一种准分子激光器多参数采集控制系统，在就近采集的原则下，为了避免位于激光器供电模块附近的采集控制终端受到干扰，在采集控制终端的主控芯片MCU信号进入前和出来后增加隔离芯片，有效防止外部电源对终端系统主控芯片的干扰，另外在供电模块的供电电路输入端设置瞬态抑制电路和EMI滤波器，可以抑制电路板上过压、欠压浪涌、电压尖峰，保护设备自身不会损坏，同时能尽量降低对激光器电磁干扰，这种采集控制终端可以有效减小采集信息输入和控制信息输出的干扰，以保证信息采集和控制的准确性。

主权项

1.一种准分子激光器的多参数采集控制系统，所述采集控制系统包括第一传感组件、第二传感组件和比例阀组件，所述第一传感组件包括分别置于所述固态开关、谐振充电电源、高电压充电电源、磁脉冲压缩器和放电腔所在水冷却组件支水管道上的水流量传感器，分别置于线宽压窄模块、前窗镜、后窗镜、能量检测模块、快门的气体路径上的气体流量传感器和用于检测所述放电腔体的温湿度传感器和内外压差传感器，所述第二传感组件包括分别置于所述放电腔和所述磁脉冲压缩器内的温度传感器，所述比例阀组件包括置于所述放电腔和所述磁脉冲压缩器所在水冷却组件支水管道上的第一比例阀和第二比例阀，其特征在于，所述采集控制系统还包括采集控制终端和供电模块，所述第一传感组件、所述第二传感组件和所述比例阀组件与所述采集控制终端通讯连接，所述采集控制终端用于接收所述第一传感组件和所述第二传感组件的信息并根据所述信息控制所述比例阀组件的开度，所述供电模块与所述采集控制终端连接，用于给所述采集控制终端供电，所述采集控制终端包括电连接器、第一转换模块、第一隔离芯片、第二转换模块、第二隔离芯片、控制模块、第三隔离芯片、接口模块和主控芯片MCU，所述电连接器、所述第一转换模块、所述第一隔离芯片、所述接口模块和所述主控芯片MCU依次连接，所述电连接器接收所述第一传感器的第一模拟信号传至所述第一转换模块后转换成为第一数字信号，所述第一数字信号经过所述第一隔离芯片后通过所述接口模块传至所述主控芯片MCU；所述电连接器、所述第二转换模块、所述第二隔离芯片、所述接口模块和所述主控芯片MCU依次连接，所述电连接器接收所述第二传感器的第二模拟信号传至所述第二转换模块后转换成为第二数字信号，所述第二数字信号经过所述第二隔离芯片后通过所述接口模块传至所述主控芯片MCU；所述电连接器、所述控制模块、所述第三隔离芯片和所述主控芯片MCU依次连接，所述主控芯片MCU输出的PWM信号通过所述接口模块后经过所述第三隔离芯片被所述控制模块接收，通过所述电连接器控制所述比例阀的开度。