[发明专利]自动校准光干涉装置及光干涉装置自动校准方法有效
| 申请号： | 201910062061.3 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN111380453B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 江鸿志;张正宜;张庭玮;张启伸 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王珊珊 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种自动校准光干涉装置包括：光源，发出低相干光；干涉光路组件，将低相干光分为第一及第二入射光；取样光路组件，具有第一及第二端，其中第一端接收第一入射光；第二端朝向待测样品，并有一部分反射窗镜用以将第一入射光分为第一反射光及第一穿透光，其中第一穿透光射向待测样品；参考光路组件，包括参考镜及致动器，参考光路组件将第二入射光射向参考镜以产生第二反射光，致动器用以移动参考镜；多色检测器，用以根据第一及第二反射光的光程差变异输出位移信号；以及位移控制器根据位移信号控制致动器。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 校准 干涉 装置 方法 | ||
【主权项】：
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