[发明专利]表面检查系统、装置和方法在审
| 申请号： | 201910056143.7 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN110296954A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | G·E·乔治森;K·L·麦基弗;P·S·卢瑟福 | 申请（专利权）人： | 波音公司 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵志刚;魏利娜 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开表面检查系统、装置和方法。一种用于表面检查的装置包括太赫兹发射器、检测器和计算设备。太赫兹发射器被定向为朝向表面发射能量，该表面具有设置在该表面上的靠近表面特征的表面层。检测器被定位以接收由表面反射的来自太赫兹发射器的能量。计算设备与检测器进行信号通信，并且被配置为使用来自检测器的信号来检测表面特征。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 太赫兹发射器 表面检查系统 计算设备 表面发射 表面反射 表面检查 表面特征 检测表面 信号通信 表面层 配置 申请 | ||
【主权项】：
1.一种用于表面检查的装置(100)，所述装置包括：太赫兹发射器(108)，其被定向为朝向表面(102)发射能量，所述表面(102)具有设置在所述表面(102)上的靠近表面特征(104)的表面层(106)，所述表面特征(104)耦合到所述表面(102)；检测器(110)，其被定位以接收由所述表面(102)反射的来自所述太赫兹发射器(108)的太赫兹能量；以及计算设备(112)，其与所述检测器(110)进行信号接收通信(112)，其中所述计算设备(112)被配置为使用来所述自检测器(110)的信号来检测所述表面特征(104)。
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