[发明专利]一种应用于电阻法真空蒸镀铝厚膜设备的专用夹具在审
| 申请号： | 201910054977.4 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN109594051A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 单庆;孙盼;单骁;罗怡;徐征 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/26;C23C14/14 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳制造技术领域，提供了一种应用于电阻法真空蒸镀铝厚膜设备的专用夹具。该专用夹具为左右对称结构，包括左夹具、左电极、第一钨丝盖板、第一钨丝、第二钨丝、铝环、第二钨丝盖板、右电极和右夹具。使用蒸发源铝环的用量是改造前用量约2.5倍，蒸发源铝环用量增加后，单次蒸镀的极限厚度由几百纳米尺度级别增加至微米尺度级别，通过增加蒸发源铝环的用量可显著改善镀膜的极限厚度。使用改造后夹具及钨丝蒸镀铝膜时，当样品与蒸发源之间距离加长，两者之间夹角为71.4°，此时单次可蒸镀铝膜极限厚度为微米尺度级别，本夹具达到蒸镀铝厚膜的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 钨丝 蒸发源 铝环 专用夹具 厚膜 夹具 微米尺度 真空蒸镀 蒸镀铝膜 电阻法 盖板 蒸镀 左右对称结构 纳米尺度 夹角为 右电极 右夹具 左电极 左夹具 镀膜 加长 应用 改造 制造 | ||
【主权项】：
1.一种应用于电阻法真空蒸镀铝厚膜设备的专用夹具，其特征在于，该专用夹具为左右对称结构，包括左夹具(1)、左电极(3)、第一钨丝盖板(4)、第一钨丝(7)、第二钨丝(8)、铝环(9)、第二钨丝盖板(11)、右电极(13)和右夹具(14)；所述的左夹具(1)和右夹具(14)分别与第一螺栓(2)和第六螺栓(15)配合，对应夹持左电极(3)和右电极(13)；左夹具(1)和右夹具(14)结构相同，分为固定电极端和固定钨丝端；所述的第一钨丝(7)和第二钨丝(8)水平固定在左夹具(1)和右夹具(14)之间，分别通过第一钨丝盖板(4)、第二钨丝盖板(11)、左夹具(1)和右夹具(14)的固定钨丝端及螺栓配合进行固定；第一钨丝(7)和第二钨丝(8)的每个螺旋上面悬挂一组蒸镀用的铝环(9)。
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