[发明专利]内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法在审
| 申请号： | 201910036305.0 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109896498A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 郝秀春;蒋纬涵 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法，属于MEMS领域。本发明是在微悬臂梁的内部形成微通道，将微流控芯片集成于微悬臂梁传感器内，并且两个及以上微悬臂梁的自由度相连。此种微悬臂梁的并联结构是采用一种基于SON结构的加工方法来制造的，可以同时形成微通道和盖板。同时与微流控芯片技术结合起来，可以实现微纳粒子、细胞等的分离、监测与检测。微悬臂梁总体结构包括：微悬臂梁的固定端、内嵌通道、内嵌通道的衬底和盖板，以及内嵌通道的入口和出口。本发明是一种新型的微悬臂梁结构，加工方法更加简洁，将微流控芯片技术与微悬臂梁传感器技术相结合，应用领域大大增加，同时检测精度也极大地提高。 | ||
| 搜索关键词： | 微悬臂梁 内嵌 微流控芯片 并联结构 微悬臂梁传感器 微通道 盖板 加工 技术结合 固定端 检测 衬底 粒子 细胞 监测 出口 制造 | ||
【主权项】：
1.一种内嵌通道式的微悬臂梁并联结构，其特征在于，包括相连接的固定端(102)和梁，所述梁至少为两个，所述梁均有固定端(102)，梁可以互连也可单独配置；各梁的自由端连接在一起；各梁的内部通道在梁的自由端处相交；所述梁的底部是衬底，梁的上端面是盖板(103)，衬底和盖板(103)之间为内嵌通道(105)，内嵌通道(105)至少带有内嵌通道微流体入口(101)，所述衬底、盖板(103)和固定端(102)为一体结构。
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