[发明专利]光源装置及具备其的曝光装置有效
| 申请号： | 201910011217.5 | 申请日： | 2019-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN110007565B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 张正桓;山田芳彦 | 申请（专利权）人： | 世振ONT股份公司;山田芳彦;凤凰电机公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够将从光源放射的光集中在规定的照射范围并能够提高光的利用效率的光源装置。利用光源(12)、使来自光源(12)的光朝向照射面(S)成为更接近平行光的状态的平行化元件(14)、以及配设于平行化元件(14)与照射面(S)之间并将来自平行化元件(14)的光集中到照射面(S)的聚光元件(16)构成光源装置(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 具备 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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