[发明专利]微机械或纳米机械颗粒检测设备在审
| 申请号： | 201910003107.4 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN109994364A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·海恩茨;马克·桑萨·佩纳 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/26 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 孟媛;姚开丽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 公开了微机械或纳米机械颗粒检测设备。颗粒检测设备包括：支撑件；用于接收颗粒的平台(4)；四个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)，所述四个梁将平台(4)悬挂在支撑件(2)上，使得平台(4)能够振动；用于使所述平台(4)以共振频率振动的装置(8)；用于检测平台(4)在位移方向上的位移的检测装置(10)。每个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)具有长度l、宽度L和厚度e，并且平台(4)具有在平台的位移方向上的尺寸，并且其中，在设备具有平面外模式时l≥10×L，并且，每个梁在平台(4)的位移方向上的尺寸比平台(4)在位移方向上的尺寸小至少10倍。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒检测设备 纳米机械 微机械 支撑件 共振频率 检测装置 尺寸比 悬挂 检测 | ||
【主权项】：
1.颗粒检测设备，包括支撑件和能相对于所述支撑件(2)移动的至少一个可移动结构，所述可移动结构包括：平台(4)，所述平台的一个面至少用于接收待检测的颗粒；悬挂装置(6)，所述悬挂装置用于悬挂所述平台(4)，使得所述平台(4)能够相对于所述支撑件(2)振动；致动装置(8)，所述致动装置用于使所述平台(4)以所述平台的共振频率中的至少一个共振频率振动；检测装置(10)，所述检测装置用于检测所述平台(4)在给定方向上的位移；所述悬挂装置(6)包括至少两个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)，所述至少两个梁构造成在所述平台(4)振动时变形，其中，每个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)具有长度l、宽度L和厚度e，所述平台(4)具有在所述平台的位移方向上的尺寸，其中：‑每个梁在所述平台(4)的给定的位移方向上的尺寸比所述平台(4)在所述给定的位移方向上的尺寸小至少10倍，以及‑在所述检测设备具有平面内模式的情况下，l≥10×L，并且在所述检测设备具有平面外模式的情况下，l≥10×e，使得在所述平台(44)振动时，所述平台不会由于所述梁的作用而变形或变形很小。
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