[发明专利]垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列有效
| 申请号： | 201880099645.1 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN113169522B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 汪洋;贺永祥 | 申请（专利权）人： | 瑞识科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/42 | 分类号： | H01S5/42 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区凤凰街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种垂直腔面发射激光器阵列，包括：基片；在所述基片上形成规则图案的多个VCSEL结构，每个VCSEL结构包括第一反射器区域、有源区域和第二反射器区域，所述多个VCSEL结构能够同时通电；第一金属(401)，所述第一金属(401)电连接选定数量而非全部的所述VCSEL结构以使得当仅通电所述选定数量的所述VCSEL结构时，所述选定数量的所述VCSEL结构形成预定的不规则图案的发射器；以及第二金属(402)，所述第二金属(402)电连接未与所述第一金属(401)电连接的所述VCSEL结构中的至少某些VCSEL结构。所述第一金属(401)和所述第二金属(402)彼此电绝缘。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 vcsel 阵列 | ||
【主权项】：
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