[发明专利]标记区、用于确定位置的方法和装置在审
| 申请号： | 201880089074.3 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111727353A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | T·瓦根莱特纳;F·伯格尔萨克 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/27;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 万欣;陈浩然 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种标记区(4)，所述标记区具有‑至少两个方位标记(2)，所述方位标记具有针对相应的方位标记(2)在所述标记区(4)中的方位的信息；和‑至少一个与其中一个方位标记(2)相关联的或能相关联的位置标记(3)。此外，本发明涉及一种用于确定布置在基底(7)上的结构(11)的结构特征(11c)的X‑Y位置的装置，其中，相对于关于基底固定的标记区(4)的X‑Y位置是能确定的。此外，本发明涉及一种相对应的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 用于 确定 位置 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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