[发明专利]主动隔振装置有效
| 申请号： | 201880085570.1 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN111566379B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 岸本伊知郎;阿部成吾 | 申请（专利权）人： | 仓敷化工株式会社 |
| 主分类号： | F16F15/027 | 分类号： | F16F15/027;F16F15/02;F16F15/04;G05D19/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 陈万青;李雪 |
| 地址： | 日本冈山县仓敷市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 主动隔振装置(A)包括：对承载物(S)进行定位的工作台(4)、支撑工作台(4)的隔振台(1)、对隔振台(1)施加抑制其振动的控制力的伺服阀(24)、事先获取基于与工作台(4)的移动控制相关的信息的工作台状态信号的工作台信息获取部(6d)、从该工作台状态信号中除去共振频率成分的共振抑制部(6f)、以及根据共振频率成分已被除去之后的工作台状态信号对伺服阀(24)进行前馈控制而让控制力与伴随着工作台(4)移动而引起的隔振台(1)的振动相匹配的制振FF控制部(6e)。 | ||
| 搜索关键词： | 主动 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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