[发明专利]用于监测等离子体的系统在审
| 申请号： | 201880084134.2 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN111566563A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | M·A·普维斯;K·M·休姆勒;丁程远;R·J·拉法克;I·V·福门科夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 放大光束被提供给接收包括目标材料的目标的区域，放大光束与目标之间的相互作用将至少一些目标材料从第一形式转换为第二形式以形成发光等离子体；包括与放大光束有关的信息的第一数据被访问；包括与发光等离子体有关的信息的第二数据被访问；以及目标材料的从第一形式转换为第二形式的量被确定。该确定至少基于第一数据和第二数据，并且目标材料的第二形式的密度小于目标材料的第一形式的密度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监测 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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