[发明专利]石英玻璃坩埚在审
| 申请号： | 201880081265.5 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN111771017A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 北原贤;佐藤贤;吉冈拓麿 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C03B20/00;C03C19/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;王玮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种充分地确保坩埚内表面及外表面的强度。本发明的一方式为具备圆筒状的侧壁部、弯曲的底部、设置于侧壁部与底部之间且具有比底部的曲率高的曲率的角部的石英玻璃坩埚，该石英玻璃坩埚具备：第1区域，在壁厚方向上从坩埚内表面设置至中途；第2区域，在壁厚方向上设置于比第1区域更靠外侧的位置，且具有与第1区域不同的应变分布；及第3区域，在壁厚方向上位于比第2区域更靠外侧的位置并设置至坩埚外表面，且具有与第2区域不同的应变分布，第1区域及第3区域的内部残余应力为压缩应力，第2区域的内部残余应力包含拉伸应力。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 | ||
【主权项】：
暂无信息
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