[发明专利]高亮度LPP源和用于产生辐射并减少碎屑的方法有效
| 申请号： | 201880075848.7 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN111406303B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | A.Y.维诺科霍多夫;V.V.伊万诺夫;K.N.科舍列夫;M.S.克里沃科里托夫;V.M.克里夫森;A.A.拉什;V.V.梅德韦德夫;Y.V.西德尔尼科夫;O.F.雅库舍夫 | 申请（专利权）人： | 伊斯泰克私人有限公司;伊斯泰克集团控股有限私公司 |
| 主分类号： | H01J35/00 | 分类号： | H01J35/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 荷兰埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于产生短波长辐射的高亮度LPP源和方法，所述LPP源包括：真空腔室(1)，其具有用于让激光束(7)聚焦到相互作用区域(5)中的输入窗口(6)，用于让短波长辐射束(9)出射的输出窗口(8)；旋转靶标组件(3)，其具有环形凹槽(11)；靶标(4)，其是通过离心力形成在环形凹槽(11)的远侧壁(13)的表面上的熔融金属层，环形凹槽的近侧壁(14)被设计为提供在所述相互作用区域与输入窗口、输出窗口之间的视线，尤其是在激光脉冲期间。一种减少碎屑颗粒的方法，包括使用足够高的靶轨道速度，使离开所述旋转靶标组件的碎屑颗粒的液滴部分不被导向输入窗口和输出窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 亮度 lpp 用于 产生 辐射 减少 碎屑 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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