[发明专利]气体分析器在审

专利信息
申请号: 201880068502.4 申请日: 2018-10-23
公开(公告)号: CN111433593A 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 中川贡;榎本和巳;山本节夫;栗巣普挥 申请(专利权)人: 丸中机械设备有限公司;三弘创拓技术有限公司;国立大学法人山口大学
主分类号: G01N21/67 分类号: G01N21/67;G01M3/40
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 日本爱知县丰明市阿野町*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的细长的强磁性体的阳极电极(22)呈悬臂梁状地支撑固定在筒状的可密闭的真空容器(21)中,以当对阳极电极(22)与作为阴极电极的真空容器(21)之间施加了高电压时,磁场集中在成为放电发光的区域的强磁性体阳极电极前端侧的位置的方式,配置磁场施加部件(26),由此使施加了高电压时的放电发光局限在阳极电极(22)的前端部附近,且发光强度增大。此外,为了使磁场集中在阳极电极(22)的前端附近,有时利用磁力线容易穿过的强磁性体的软磁性材料来形成真空容器(21),另外,除将阳极电极(22)自身设为强磁性体以外,有时仅将阳极电极的前端侧设为强磁性体、或将强磁性体构件接近阳极电极来配置。在利用所述放电发光的气体分析器中,提高检测精度,使检测下限变成10‑7Pa的超高真空。
搜索关键词: 气体 分析器
【主权项】:
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