[发明专利]记录全息图的曝光设备，记录全息图的方法和控制用于记录全息图的曝光设备的方法有效
| 申请号： | 201880067739.0 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN111247488B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | R·菲斯;M·吉克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G03H1/04 | 分类号： | G03H1/04;G02B21/33;G03H1/26;G03H1/02;G03H1/22 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于记录全息图的曝光设备(300)。该曝光设备(300)包括至少一个调制单元(304)，所述调制单元构造用于通过将代表全息图的至少一个全息元件的调制施加到激光束(308，338)上来产生代表参考射束和/或对象射束的调制射束(310)。此外，该曝光设备(300)包括至少一个缩小单元(312)，所述缩小单元构造用于在使用所述调制射束(310)的情况下产生改变的调制射束(318)，其中，所述改变的调制射束(318)具有比所述调制射束(310)更小的射束直径。此外，该曝光设备(300)包括至少一个物镜单元(320)，所述物镜单元构造用于将所述改变的调制射束(318)通过浸没介质引导到记录材料(302)上，以便通过借助所述改变的调制射束(318)对记录材料(302)的曝光来记录全息图。 | ||
| 搜索关键词： | 记录 全息图 曝光 设备 方法 控制 用于 | ||
【主权项】：
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